“MKS-1179A00452CS1AV质量流量计”参数说明
品牌: |
MKS |
加工定制: |
否 |
类型: |
精密压力表 |
构造: |
液柱式压力表 |
用途: |
工业用 |
联接型式: |
轴向 |
测量范围: |
微压表 |
显示方式: |
数字压力表 |
测量精确度: |
精密压力表 |
指示压力的基准: |
绝对压力表 |
使用功能: |
带电信号控制型 |
精度等级: |
0.16级 |
“MKS-1179A00452CS1AV质量流量计”详细介绍
1179A00452CS1AV ? 现货
流量比例控制器(通用型)
1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器,1179A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。
技术参数:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 100%的全量程。
测量精度:全量程的1%
灵敏度:全量程的0.1%
热机时间:小于2Min.
响应速度:小于2Sec.
输入电压:±15VDC@100ma
输出电压:0-5VDC
连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
? ? ? 数字:RS485或Device net或Profibus
法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材质:316不锈钢。
质保期:有限保修自售出之日起12个月。
例:型号1179A00411CR1A5VXX ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 采购序列号
校准气体(SEMI气体编号)*
Helium, He ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 001
Argon, Ar ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 004
Hydrogen, H2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 007
Nitrogen, N2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?013
Oxygen, O2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 015