MKS-1179A00452CS1AV质量流量计 |
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1179A00452CS1AV ? 现货
流量比例控制器(通用型) 1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。 对于当今市场上的质量流量控制器,1179A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。 技术参数: 全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。 控制量程:2% to 100%的全量程。 测量精度:全量程的1% 灵敏度:全量程的0.1% 热机时间:小于2Min. 响应速度:小于2Sec. 输入电压:±15VDC@100ma 输出电压:0-5VDC 连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge. ? ? ? 数字:RS485或Device net或Profibus 法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等 材质:316不锈钢。 质保期:有限保修自售出之日起12个月。 例:型号1179A00411CR1A5VXX ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 采购序列号 校准气体(SEMI气体编号)* Helium, He ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 001 Argon, Ar ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 004 Hydrogen, H2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 007 Nitrogen, N2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?013 Oxygen, O2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 015 |
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